ppb微量水分析儀

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產品名稱: ppb微量水分析儀

產品型號: QZ360石英振蕩露點儀

產品展商: ADEV

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

ppb微量水分析儀QZ360超低露點微量水分析儀是基于ADEV儀表多年在晶體振蕩領域生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和純氣體應用的低位變送器。ppb微量水分析儀是測量電子氣、新材料、半導體超純氣體

ppb微量水分析儀 的詳細介紹

ppb微量水分析儀

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在很多純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者貴的分析技術。意大利ADEV儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
QZ360超低露點微量水分析儀是基于ADEV儀表多年在晶體振蕩領域生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和純氣體應用的低位變送器。高純氣體露點儀

ppb微量水分析儀亮點
o真正實現測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)，完全不同于傳統的阻容方法
o 測量穩定，重復性好
o 集成的采樣裝置關鍵詞：激光氧分析儀|反應釜氧分析儀 |進口激光氧|進口氧分析儀|西門子U23分析儀|ppb微量水分析儀|頂空分析儀|U23氣體分析儀|藥品殘氧儀|進口露點儀|順磁氧分析儀|微量氧分析儀|高溫濕度儀|煙氣露點儀|燃氣熱值儀||煙氣濕度儀|頂空氣體分析儀 |高溫露點儀
o 模擬和數字輸出
o 安裝簡便
o VCR 過程接口
o 設計緊湊小巧
o 顯示/報警單元可選

?ppb微量水分析儀技術指標
傳感器
傳感器類型
ADEV晶體振蕩傳感器
ppb微量水分析儀量程
-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

ppm測試范圍0.001-500ppm/1000ppm

ppb微量水分析儀精度
±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±3°C -101 ~ -120°C
分辨率
0.000001°C -40 ~ -79.9°C;
0.00001°C -80 ~ -100°C;
0.001°C -100 ~ -120°C
壓力
低 10-9 torr; 大 24 MPa關鍵詞：激光氧分析儀|反應釜氧分析儀 |進口激光氧|進口氧分析儀|西門子U23分析儀|ppb微量水分析儀|頂空分析儀|U23氣體分析儀|藥品殘氧儀|進口露點儀|順磁氧分析儀|微量氧分析儀|高溫濕度儀|煙氣露點儀|燃氣熱值儀||煙氣濕度儀|頂空氣體分析儀 |高溫露點儀
氣體流量
1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源
通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出
4-20 mA 輸出,
輸出出錯狀態
標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限
機械性能
傳感器套筒
不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋光

ppb微量水分析儀氣路連接端口關鍵詞：激光氧分析儀|反應釜氧分析儀 |進口激光氧|進口氧分析儀|西門子U23分析儀|ppb微量水分析儀|頂空分析儀|U23氣體分析儀|藥品殘氧儀|進口露點儀|順磁氧分析儀|微量氧分析儀|高溫濕度儀|煙氣露點儀|燃氣熱值儀||煙氣濕度儀|頂空氣體分析儀 |高溫露點儀
QZ360 Sensor 型: ?" m VCR 接口
重量
220G
包裝
雙層包裝, 惰性氣體填充密封
選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作